二甲基硅烷

二甲基硅烷是一种有机硅化合物，化学式为C₂H₈Si，是一种易燃物质。它可由二氯硅烷和二甲基锌反应制得：

$\mathrm{S}\mathrm{i}\mathrm{C}{\mathrm{l}}_{\mathrm{2}}{\mathrm{H}}_{\mathrm{2}}\mathrm{+}\mathrm{2}\mathrm{Z}\mathrm{n}\mathrm{(}\mathrm{C}{\mathrm{H}}_{\mathrm{3}}{\mathrm{)}}_{\mathrm{2}}\underset{}{\overset{}{\to }}\mathrm{S}\mathrm{i}\mathrm{(}\mathrm{C}{\mathrm{H}}_{\mathrm{3}}{\mathrm{)}}_{\mathrm{2}}{\mathrm{H}}_{\mathrm{2}}\mathrm{+}\mathrm{2}\mathrm{C}\mathrm{l}\mathrm{Z}\mathrm{n}\mathrm{C}{\mathrm{H}}_{\mathrm{3}}$

它可以应用于化学气相沉积。

参见

• 三甲基硅烷