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[[File:Comb-drive-digital-holographic-Microscopy-Holographic-MEMS-Analyzer.gif|缩略图|數位全息顯微鏡底下的梳狀致動器]]
'''梳狀致動'''是驅動器的一種，通常利用兩導電梳齒的[[靜電力]]來進行驅動。

==原理==
對固定梳齒及移動梳齒施加[[電壓]]時，兩者之間會產生靜電力而相互吸引。致動器產生的力量大小，與梳齒間的電容變化成正比；驅動電壓的大小、梳齒數量與梳齒間的間隙亦會有所影響。梳齒被設計成不會相互接觸 (因為那樣就不會產生電壓差)。一般來說， 會設計成每個齒都能滑過另一個齒並卡入到相對應的凹槽中。

若將馬達的線性運轉轉換成旋轉或其他運動，則可以操縱[[彈簧]]、[[槓桿]]及曲軸。

靜電力可透過最初存儲於電容內的電能生成，再進一步區分為斥力或引力。存儲於電容中的電能可由以下公式求得：

<math>E=\frac{1}{2}CV^2</math>

<math>F=\frac{1}{2}\frac{\partial C}{\partial dx{\scriptstyle\text{drive}}}V^2</math>

若使用平行導電板作為電容，則產生的力F為：

<math>F=\frac{-1}{2}\frac{nt\epsilon_0\epsilon_rV^2}{d}</math>

<math>V</math> =施加的電動勢， 
<math>\epsilon_r</math> =相對介電常數， 
<math>\epsilon_0</math> =真空介電常數(8.85pF/m)
<math>n</math> =兩側電極的總齒數， 
<math>t</math> =電極板的厚度， 
<math>d</math> =電極之間的間隙。

== 梳狀驅動器的結構 ==
* 可互相卡入的成排梳齒，一半固定，另一半為可移動，且為電隔離
* 靜電引力/斥力
* CMOS驅動電壓
* 增加齒數以產生更大的力量 (通常為10μm)

== 尺寸問題 ==
梳狀致動器的應用尺度通常是微米或奈米等級，並透過由塊體微加工或表面微加工生成的矽晶薄片加以製成。梳狀致動器無法將間隙 (等同於驅動距離) 增加太多。因為間隙越大，所要求的驅動電壓就越大。因此這部分會受到[[電擊穿]]的限制。更重要的一點是，間隙大小的限制等同於對驅動距離的限制。

== 參見 ==
* [[靜電馬達]]
* [[叉指式變換器]]
* [[微機電系統]]

== 參考文獻 ==
* {{Cite journal|title=Comb Drive Actuators for Large Displacements|url=http://iopscience.iop.org/0960-1317/6/3/004/|last=Legtenberg, Rob|last2=Growenveld, AW|journal=J. Micromech. Microeng.|issue=3|doi=10.1088/0960-1317/6/3/004|year=1996|volume=6|pages=320–9|last3=Elwenspoek, M}}
[[Category:执行器]]
[[Category:微技术]]
[[Category:纳米电子学]]